| Наименование | Технические условия | Категория качества | Производитель | Описание | Гарантийный срок эксплуатации | Количество компонентов в данной серии | Амплитуда перемещений, мкм, не менее | Разрешение по осям X и Y, нм, не более | Нелинейность по осям X и Y, %, не более | Габаритные размеры, мм | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
